Curso ofertado en la Licenciatura en Nanotecnología del Centro de Nanociencias y Nanotecnología de la UNAM, en Ensenada Baja, California, México. El curso consta de las siguietnes secciones.

1. Tecnologías de Vacío (*.PDF)

2. Técnicas más comunes de crecimiento de películas delgadas

   1. Evaporación (por Cervantes Pérez Josh Luis *.PDF1 y por Valeria Ríos Vargas *.PDF2)

   2. Ablación Láser (PLD) (por Patsy A. Miranda Cortez *.PDF)

   3. Depósito por capa atómica (ALD) (Por Corchado Ramos Itzae Balam, *.PDF )

   4. Depósito por vapores químicos (CVD) (por Dante Serrano Kobylyansky, *.PDF)

   5. Depósito por baño químico (CBD) (por Brito Reyes Gerardo Rafael, *.PDF)

   6. Sputtering (pulverización catódica o erosión iónica) (por Rommel Chiñas Reyes, *.PDF)

   7. Spin Coating (recubrimiento por giro) (por Paul Gallegos Sánchez, *.PDF)

3. Técnicas para remoción de material

   1. Vía seca (por Jaime Alberto Sánchez Ruiz, *.PDF)

   2. Vía húmeda (por America Mendoza, *.PDF)

4. Monitoreos de grosores de películas delgadas ( por Diego Francisco Mireles Campos, *.PDF ).

5. Introducción a la fabricación de dispositivos (Mascarillas y fotolitografía)

Capítulo 1: Nociones de Ultra Alto Vacío (UHV) (*.PDF)

Capítulo 2: Nociones de Termodinámica en superficies (*.PDF)

Capítulo 3: Análisis químico de superficies (XPS, AES, SIMS)

(*.PDF y *.PDF para SIMS por Felipe Ramírez)

Capítulo 4: Arreglos atómicos en la superficie (*.PDF)

Capítulo 5: Arreglo electrónico en la superficie (*.PDF)

Capítulo 6: Análisis morfológico de la superficie

· SEM (*.PDF por Tatiana Ávalos)

· AFM (*.PDF por Lizbeth Prieto)

· STM (*.PDF por Iliana Nava)

Capítulo 7: Excitaciones elementales en superficies (*.PDF) y REELS (*.PDF)

Capítulo 8: Adsorción de moléculas en la superficie (*.PDF por Tatiana Ávalos)

BIBLIOGRAFÍA

1. Ibach H. and Lüth H., Solid State Physics, Springer Verlag, 1991.

2. Kittel C., lntroduction to Solid State Physics, John Wiley & Sons, N.Y., 1996.

3. Zangwill A., Physics at Surfaces, Cambridge Univ. Press, 1988.

4. Ashcroft N.W. and Mermin N. D., Solid State Physics, HRW Internacional Editions, Londres, 1976.

5. Mckelvey J. P., Física del Estado Sólido y de Semiconductores, Editorial Limusa, México, 1980.

6. Chaikin P.M. and Lubensky T.C., Principles of Condensed Matter Physics, Cambridge University Press, 1995.

7. Blakemore J.S., Solid State Physics, 2nd. Edition, Cambridge University Press, 1985.

Aspectos básicos de la espectroscopía de electrones fotoemitidos, ofertado en el CICATA ALTAMIRA (*.PDF)

El curso consta de dos partes:

1. Perfiles de profundidad (*.PDF)

2. Determinación de morfología usando el Background (*.PDF)